硅烷废水处理设备包括控制系统和水路系统，控制系统与水路系统电连接，水路系统包括依次连通的隔油池、调节池、破反应池、混凝沉淀池、厌氧池、接触氧化池、中间水池，所述混凝沉淀池、接触氧化池连通至污泥贮存池，污泥贮存池上连接有板框压滤机，板框压滤机与所述污泥贮存池通过污泥泵相连通，中间水池上连接有过滤器，过滤器通过滤水泵与中间水池相连通。
硅烷废水处理设备工艺方法：
可采用伊环境YS-5处理法：废水均化破剂中和沉淀，加入PAC、高分子絮凝剂等絮凝沉淀；澄清后进调节pH值后进入生化处理系统或排放。
反应池、沉淀池需设搅拌装置以利于药品充分反应，并有污水泵便于相互提升和清除污泥。合理控制流量，使废水在各池中的停留时间足够。
根据废水流量来确定处理池容积。根据废水量，间歇式操作，需专人管理，检测和加药。
处理后废水经检测达标后，一般直接排放污水管道，但有时为了解决水资源缺乏问题，可将其用于要求较低的除油除锈后清洗，回用水需要深度处理后回用，循环使用次数尽可能少，否则会对硅烷处理不利。
硅烷排放的废水主要是清洗废水，主要污染因子有:ＰＨ值、ＳＳ、ＣＯＤ等，具有流量小，污染程度较轻，废水处理采用硅烷废水处理设备，这样获得的水质状况好。但对投资、成本、效果综合考虑，进行的化学中和处理+生化处理，各项指标可以达到排放标准，这需要很好的管理。
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