清洁度分析

关于清洁度分析，光学显微镜和扫描电子电子显微镜是清洁度分析领域常用的两种仪器，那么这两种分析方法有什么区别呢？

1、从使用条件来看

光学显微镜的信号源是可见光，可见光的波长较长，可以轻松绕过空气分子，因此可以在大气环境下运行。

扫描电子显微镜的信号源是电子束，相对于可见光，电子束的波长更短，所以分辨率更高，图像更清晰，不过，较短的波长，绕过空气分子的能力将会变差，因此扫描电子显微镜内部会通过多级真空泵，将空气分子抽走，以维持一定的真空度。

2、从测试结果来看

光学显微镜由于其价格低、操作简单在清洁度分析领域得到广泛应用。在光镜下，金属颗粒会有一定的反光，非金属颗粒不反光，因此光镜可以根据颗粒是否反光，来大致区分金属和非金属，但是局限性是光镜无法分析出具体是哪一种类的颗粒。

扫描电子显微镜除了可以找到质颗粒外，可以分析颗粒的种类。通过搭配能谱探测器，通过能谱信号，进一步给出颗粒的元素种类和含量信息，进而对照数据库，就能判断出颗粒的种类。 例如:

· 在汽车领域，硬质颗粒更受关注，因此希望区分出SiO2、Al2O3、W等；

https://www.chem17.com/st572789/erlist_2436937.html

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